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  • × 18th International Summer School on Vacuum, Electron and Ion Technologie
  • × Comb structure
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1 Patterning of structures by e-beam lithography and ion etching for gas sensor applications [会议论文]

作者:Durina, P.^1;Bencurova, A.^2;Konecnikova, A.^2;等

关键词:Comb structure;e-Beam lithography;...

会议举办机构:Department of Experimental Physics, FMFI, Commenius University, F2 Mlynská dolina, 84248 Bratislava, Slovakia^1

会议时间:

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